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    Park NX15原子力顯微鏡

    簡要描述:Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實驗室里的研究人員處理各種樣品、進行多變量實驗,也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統性工作。

    • 更新時間:2023-10-30
    • 廠商性質:經銷商
    • 訪  問  量: 245

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    詳細介紹

    Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實驗室里的研究人員處理各種樣品、進行多變量實驗,也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統性工作。

    便捷的樣品測量(包含多樣品掃描)

     一次可對多個樣品自動成像

     設計的多樣本卡盤,一次至多可裝載9個單獨樣品(可選)

     全電動XY樣品臺行程可達 150 mm x 150 mm

    通過消除掃描器串擾進行精準的XY掃描

     獨立閉環XY和Z柔性掃描器

     正交XY掃描

     無需軟件處理即可保留真實可信的樣品表面形貌信息

    真正非接觸模式實現探針使用壽命、成像分辨率和樣品的有效保護

     快速的Z伺服速度,實現真正的非接觸模式

     針尖磨損微小化,可實現長時間的高質量和高分辨率成像

    多種模式和選項

     全面性的測量模式和表征方法

     可實現可選配件和升級擴展功能

     用于故障分析(FA)的精密電學測量

    Park NX15原子力顯微鏡 參數

    掃描器

    Z掃描器

    柔性引導高推動力掃描器

    Z掃描范圍:15μm(30 μm可選)

    XY掃描器

    閉環控制式單模塊柔性XY掃描器

    掃描范圍:100μmx 100μm

    光學

    帶視覺相機的同軸光學系統

    物鏡:10x放大

    視場:

    480 μm X 360 μm(默認 120 萬像素視覺相機)

    840 μm X 630 μm( 默認 500 萬像素視覺相機)

    電路系統

    信號處理

    ADC: 用于 X,Y和Z 掃描器位置傳感器的 24 位 ADC

    DAC: 用于 X,Y和Z 掃描器定位的 20 位 DAC

    樣品臺

    Z位移臺行程范圍:25.5 mm

    XY位移臺行程范圍:150 mm X 150mm

    樣品大?。?/span>可滿足150 mm wafer 樣品



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